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제품안내

HIGH VACUUM GAUGE

  • Penning Vacuum Gauge의 원리는 Vacuum Chamber에 설치되어 있는 Sensor의 전극에 고전압을 걸어 Discharge를 발생시켜 그 이온 전류의 변화량을 측정하며 자기장을 걸어 줌으로써 이온의 발생량을 극대화 시켰습니다.
  • Sensor가 오염되었을 때 분해와 세정이 쉽게 가능합니다.
  • 12bit ADC를 사용하여 Sensor에 대한 정밀도를 향상 시켰습니다.
  • SMPS(Switching Mode Power Supply) Type으로 전압안정성 및 신뢰성을 향상 시켰습니다.
  • Sensor의 고전압부를 고전압용 BNC Type Connector 처리하여 고전압 누출을 막았습니다.

SPECIFICATION / VSPE – 8002

Number of Measurement Channels 1 Relay Contact Rating AC 220V 0.5A or DC 24V 1A
Measuring Range 1.0 E 10-3 -1.0 E 10-7 Sensor Cable Length 3m (Option : 5m, 7m, 10m)
Display for Measured Values Digital, 7segment LED, 5digits Operating Voltage AC 110 ~ 230 V 50/60 Hz
Unit of Measure TORR Operating Temperature 10 ~ 40°C
Recorder Output 0 ~ 5 VDC / RS232 Vacuum Connection Nw25 or 2.75CF
Panel Cut Size 96 x 96 mm Additional Information RS232 / Data Acquisition Software
Set Points Relay 2 separate circuits

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