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MINISERIES

MINI SPUTTERING – AIR COOL TYPE

  • 기존 보유하고 계신 진공배기 장치 또는 다른 장비에 간단히 연결 사용
  • Compact한 설계로 책상 위에 올려 놓고 사용
  • ₩ 4,000,000

SPECIFICATION

SPUTTER TYPE Sputter up type with shutter
TARGET SIZE Ø2″ X 1/4″ thickness (air cool)
VACUUM GAUGE Pirani type
PLASMA SOURCE DC 400W
GAS CONTROL Metering valve
VACUUM PUMPING PORT NW25
DIMENSIONS W470 x D270 x H250

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