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SEMICONDUCTOR SYSTEM

ROBOT ARM SYSTEM

  • Robot Arm System은 Process Chamber의 분위기를 최대한 유지시키며 연속 공정을 할 수 있도록 Loadlock Chamber에 설치되어 운용되며 모든 장비에 적용 가능하다. 또한 Elevator System을 추가 설치하게 되면 Loadlock Chamber를 한 번 대기화하여 십여 장의 기판이 장착된 Casset 삽입으로 보다 생산성을 높일 수 있다.