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SEMICONDUCTOR SYSTEM

MULTIPURPOSE SYSTEM

  • 본 시스템은 협소한 장소와 예산 절감을 위해 한 Set의 진공 배기 장치, 하나의 Frame 위에 또는 MFC Gas Line, Power Supply를 공유하여 다른 기능의 Chamber를 복합 연결하여 다방면의 실험을 할 수 있게 한 연구용에 적합한 주문 제작 장비입니다.