본 진공 증착 장비는 고진공 상태에서 W이나 Mo Boat 위에 증착 시키고자하는 물질을 올려 놓고 Boat에 고전류를 흘려 물질을 증발(Evaporation)하게 하여 금속 박막을 증착하는 물리 증착 장비입니다.
일반적으로 알미늄이나 금, 은 등의 전극 재료를 시편에 증착하는 용도로 많이 사용되며 증착하고자 하는 물질을 어떻게 가열시켜 주느냐에 따라 Thermal Evaporation, E-beam Evaporation 등으로 구분할 수 있으며 증착시 반응성 가스(산소 또는 질소)를 주입시켜 산화물 혹은 질화물 박막을 증착할 수도 있습니다.
