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VACUUM GAUGE

MFC READOUT

MFC READOUT은 Process Chamber에 설치되어 있는 MFC에 전원을 공급하고 흐르는 Gas양을 숫자로 표시해 주는 장치로서 원하는 Gas 양을 Setting하며 MFC를 제어합니다. (동시에 2개의 MFC 제어)

  • 16bit ADC를 사용하여 MFC Display에 대한 정밀도를 향상시켰습니다.
  • SMPS(Switching Mode Power Supply) Type으로 전압 안정성 및 신뢰성을 향상시켰습니다.

SPECIFICATION

Number of Measurement Channels 2 (MFC capacity)
Display for Measured Values Digital, 7segment LED, 3digits-2
Unit of Measure sccm, sim
Panel Cut Size 91 X 91 mm
Input Signal Range 0 ~ 5 VDC
Transducer Output Range 0 ~ 5 VDC
Power Supply Output Capacity ± 15 VDC @ 800mA
Sensor Cable Length 3m (option : 5m, 7m, 10m)
Operating Voltage AC 110 ~ 230 V 50/60 Hz
Operating Temperature 10~40 °C

※ 좌우로 움직여 내용을 확인하세요.